無(wú)塵烤箱配備HEPA過(guò)濾器，以保持爐腔無(wú)顆粒。  HEPA過(guò)濾器(高效微粒捕獲)現(xiàn)在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過(guò)濾系統(tǒng)，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應(yīng)用。 HEPA過(guò)濾器具有隨機(jī)定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度(過(guò)濾器的厚度)非常大。
 

　　通過(guò)HEPA過(guò)濾器的氣體必須流過(guò)的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對(duì)纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過(guò)濾器的效率提高。無(wú)塵烤箱以及LCD行業(yè)的特殊輸送爐中使用這些過(guò)濾器。為了保護(hù)過(guò)濾器不會(huì)在烤箱中過(guò)熱，實(shí)施了用于過(guò)濾器的特殊保護(hù)系統(tǒng)。 HEPA過(guò)濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數(shù)年。 HEPA不需要任何清潔或維護(hù)來(lái)保持這種效率。無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體行業(yè)。
 

　　無(wú)塵烤箱特點(diǎn)
 

　　1、用于烘烤非光敏聚酰亞胺(PI)的清潔烤箱，在干凈的環(huán)境中處理集成的HEPA過(guò)濾器。溫度高達(dá)350°C 溫度。 氧氣可以保持<20ppm。可編程控制器。內(nèi)部尺寸可自定義。
 

　　2、可以提供與PC的數(shù)據(jù)耦合，這允許長(zhǎng)期數(shù)據(jù)存儲(chǔ)以及統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制SPC，配方管理和過(guò)程可視化。
 

　　3、 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，從而得到高精度溫度控制。
 

　　4、可實(shí)現(xiàn)智能化生產(chǎn)要求。SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠(chǎng)中，接口可以啟動(dòng)和停止設(shè)備處理，收集測(cè)量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。